热激励硅谐振式压力传感器的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高晓童，崔大付，陈德勇，王利，王蕾 |
| 刊名 | 仪表技术与传感器
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 4页码:1-3 |
| 关键词 | 谐振梁 压力传感器 多孔硅 热激励 牺牲层 |
| ISSN号 | 1002-1841 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3422]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高晓童，崔大付，陈德勇，王利，王蕾. 热激励硅谐振式压力传感器的研制[J]. 仪表技术与传感器,2004(4):1-3. |
| APA | 高晓童，崔大付，陈德勇，王利，王蕾.(2004).热激励硅谐振式压力传感器的研制.仪表技术与传感器(4),1-3. |
| MLA | 高晓童，崔大付，陈德勇，王利，王蕾."热激励硅谐振式压力传感器的研制".仪表技术与传感器 .4(2004):1-3. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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