微机械氮化硅梁谐振式压力传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈德勇，崔大付，于中尧，王利 |
| 刊名 | 机械强度
 |
| 出版日期 | 2001 |
| 卷号 | 23期号:4页码:543-547 |
| 关键词 | 微电子机械加工技术 氮化硅梁 谐振式压力传感器 |
| ISSN号 | 1001-9669 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3424]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈德勇，崔大付，于中尧，王利. 微机械氮化硅梁谐振式压力传感器[J]. 机械强度,2001,23(4):543-547. |
| APA | 陈德勇，崔大付，于中尧，王利.(2001).微机械氮化硅梁谐振式压力传感器.机械强度,23(4),543-547. |
| MLA | 陈德勇，崔大付，于中尧，王利."微机械氮化硅梁谐振式压力传感器".机械强度 23.4(2001):543-547. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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