一种扭摆式硅微机械加速度传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊 |
| 刊名 | 传感器与微系统
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 25期号:8页码:85-88 |
| 关键词 | 加速度传感器 体硅工艺 电容式 阳极键合 微机电系统 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3428]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊. 一种扭摆式硅微机械加速度传感器[J]. 传感器与微系统,2006,25(8):85-88. |
| APA | 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊.(2006).一种扭摆式硅微机械加速度传感器.传感器与微系统,25(8),85-88. |
| MLA | 毋正伟，陈德勇，杨苗苗，徐磊."一种扭摆式硅微机械加速度传感器".传感器与微系统 25.8(2006):85-88. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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