微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺
文献类型：期刊论文
| 作者 | 者文明，崔大付，陈德勇，王利，王蕾 |
| 刊名 | 传感器技术
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 卷号 | 21期号:11页码:31-33 |
| 关键词 | 热偶 微波功率 微梁结构热偶微波功率传感器 MEMS工艺 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3432]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 者文明，崔大付，陈德勇，王利，王蕾. 微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺[J]. 传感器技术,2002,21(11):31-33. |
| APA | 者文明，崔大付，陈德勇，王利，王蕾.(2002).微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺.传感器技术,21(11),31-33. |
| MLA | 者文明，崔大付，陈德勇，王利，王蕾."微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺".传感器技术 21.11(2002):31-33. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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