A SOI-MEMS Piezoresistive Atmosphere Pressure Sensor
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杜利东,赵湛,肖丽,张萌颖,方震等 |
| 刊名 | Key Engineering Materials
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 562-565期号:562页码:394 |
| 公开日期 | 2014-04-14 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10054]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜利东,赵湛,肖丽,张萌颖,方震等. A SOI-MEMS Piezoresistive Atmosphere Pressure Sensor[J]. Key Engineering Materials,2013,562-565(562):394. |
| APA | 杜利东,赵湛,肖丽,张萌颖,方震等.(2013).A SOI-MEMS Piezoresistive Atmosphere Pressure Sensor.Key Engineering Materials,562-565(562),394. |
| MLA | 杜利东,赵湛,肖丽,张萌颖,方震等."A SOI-MEMS Piezoresistive Atmosphere Pressure Sensor".Key Engineering Materials 562-565.562(2013):394. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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