利用银锡共晶键合技术的MEMS压力传感器气密封装
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈继超,赵湛,杜利东,刘启民,肖丽 |
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 11期号:2页码:174 |
| 公开日期 | 2014-04-14 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10067]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈继超,赵湛,杜利东,刘启民,肖丽. 利用银锡共晶键合技术的MEMS压力传感器气密封装[J]. 纳米技术与精密工程,2013,11(2):174. |
| APA | 陈继超,赵湛,杜利东,刘启民,肖丽.(2013).利用银锡共晶键合技术的MEMS压力传感器气密封装.纳米技术与精密工程,11(2),174. |
| MLA | 陈继超,赵湛,杜利东,刘启民,肖丽."利用银锡共晶键合技术的MEMS压力传感器气密封装".纳米技术与精密工程 11.2(2013):174. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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