Electrostatically driven and capacitively detected differential lateral resonant pressure microsensor
文献类型：期刊论文
| 作者 | 焦海龙，谢波，王军波，陈德勇 |
| 刊名 | Micro & Nano Letters
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 8期号:10页码:650 |
| 公开日期 | 2014-04-14 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10078]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 焦海龙，谢波，王军波，陈德勇. Electrostatically driven and capacitively detected differential lateral resonant pressure microsensor[J]. Micro & Nano Letters,2013,8(10):650. |
| APA | 焦海龙，谢波，王军波，陈德勇.(2013).Electrostatically driven and capacitively detected differential lateral resonant pressure microsensor.Micro & Nano Letters,8(10),650. |
| MLA | 焦海龙，谢波，王军波，陈德勇."Electrostatically driven and capacitively detected differential lateral resonant pressure microsensor".Micro & Nano Letters 8.10(2013):650. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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