Fabrication and characterization of a double-heater based MEMS thermal flow sensor
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙建海，崔大付，张璐璐 |
| 刊名 | Sensors and Actuators A: Physical
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 15期号:193页码:25 |
| 公开日期 | 2014-04-15 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10091]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙建海，崔大付，张璐璐. Fabrication and characterization of a double-heater based MEMS thermal flow sensor[J]. Sensors and Actuators A: Physical,2013,15(193):25. |
| APA | 孙建海，崔大付，张璐璐.(2013).Fabrication and characterization of a double-heater based MEMS thermal flow sensor.Sensors and Actuators A: Physical,15(193),25. |
| MLA | 孙建海，崔大付，张璐璐."Fabrication and characterization of a double-heater based MEMS thermal flow sensor".Sensors and Actuators A: Physical 15.193(2013):25. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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