Micro-machined resonant out-of-plane accelerometer with a differential structure fabricated by silicon-on-insulator-MEMS technology
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王军波，商艳龙，陈健，孙振国*，陈德勇 |
| 刊名 | Micro & Nano Letters
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 7期号:12页码:1230 |
| 公开日期 | 2014-04-15 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10093]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王军波，商艳龙，陈健，孙振国*，陈德勇. Micro-machined resonant out-of-plane accelerometer with a differential structure fabricated by silicon-on-insulator-MEMS technology[J]. Micro & Nano Letters,2013,7(12):1230. |
| APA | 王军波，商艳龙，陈健，孙振国*，陈德勇.(2013).Micro-machined resonant out-of-plane accelerometer with a differential structure fabricated by silicon-on-insulator-MEMS technology.Micro & Nano Letters,7(12),1230. |
| MLA | 王军波，商艳龙，陈健，孙振国*，陈德勇."Micro-machined resonant out-of-plane accelerometer with a differential structure fabricated by silicon-on-insulator-MEMS technology".Micro & Nano Letters 7.12(2013):1230. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。