基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曹明威，陈德勇，王军波，焦海龙，张健 |
| 刊名 | 传感技术学报
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 26期号:6页码:801 |
| 公开日期 | 2014-04-15 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10109]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹明威，陈德勇，王军波，焦海龙，张健. 基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究[J]. 传感技术学报,2013,26(6):801. |
| APA | 曹明威，陈德勇，王军波，焦海龙，张健.(2013).基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究.传感技术学报,26(6),801. |
| MLA | 曹明威，陈德勇，王军波，焦海龙，张健."基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究".传感技术学报 26.6(2013):801. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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