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具有多层复合结构微热盘的PCR扩增器

文献类型:专利

作者于中尧 ; 崔大付 ; 赵湛 
发表日期2010-12-24
专利国别中国
专利类型发明
权利人中国科学院电子学研究所 
中文摘要具有多层复合结构微热盘的PCR扩增器,包括电极金属压焊点(1、1a)、氮化硅薄膜(2)、多晶硅加热电阻(3)、测温电阻(4)、二氧化硅层(5)、进样孔(6)、玻璃盖板(7)、排气孔(8)、硅衬底(9)、微槽(10)、微反应室(11),还包括导热层(12),所述的加热电阻(3)、测温电阻(4)和导热层(12)制作在微反应室(11)内,测温电阻(4)和加热电阻(3)制作在同一层上。本发明在加热电阻和反应溶液之间加入厚度适当的具有高热导率的薄膜,保证高加热效率和低功耗的前提下,实现最好的温度分布均匀性。避免了加
公开日期2003-02-05 ; 2010-12-24
申请日期2001-07-06
语种中文
专利申请号CN01120216.5
专利代理戎志敏
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/5169]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_专利
推荐引用方式
GB/T 7714
于中尧,崔大付,赵湛 . 具有多层复合结构微热盘的PCR扩增器. 2010-12-24.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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