圆形梳齿式微型电场传感器
文献类型：专利
| 作者 | 夏善红 ; 陶 虎 |
| 发表日期 | 2010-12-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 一种圆形梳齿式微型电场传感器，包括：梳状固定电极(1)和梳状屏蔽电极(2)沿振动方向间隔分布在圆周上；在梳状屏蔽电极(2)上开有栅孔(4)；感应电极(3)放置在栅孔(4)下面。本发明的传感器工作时采用梳齿式驱动来实现屏蔽电极相对于感应电机的振动，位移精准，周期性好；感应电极采用多组并联，从而加大了检测信号的强度，便于测量较弱电场信号；由于感应电极采用的是圆形对称分布，从而可以使用差分电路降低系统噪声对系统检测的影响；屏蔽电极上栅孔的分布采用的是少量多组的分布原则，从而有效的降低了单块屏蔽电极上栅孔间的信号 |
| 公开日期 | 2006-05-10 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2004-11-05 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200410088604.2 |
| 专利代理 | 戎志敏 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/5257]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏善红,陶 虎 . 圆形梳齿式微型电场传感器. 2010-12-24. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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