一种生化微传感集成芯片、制作及模具制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 夏善红 ; 杨海钢 ; 韩泾鸿 ; 孙红光 ; 汪祖民 ; 魏金宝 ; 蔺增金 |
| 发表日期 | 2010-12-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 本发明公开一种生化微传感集成芯片的结构、制作及模具制备方法。集成芯片包括差分延长栅和读出电路。差分延长栅由Ta2O5敏感薄膜、PTFE钝化薄膜和Pt准参比电极组成；ISEGFET/REEGFET传感器的MOSFET位于读出电路的运算放大器中。在标准商用CMOS工艺线完成基础集成芯片；在研究性工艺线制备敏感膜、钝化薄膜及Pt薄膜等后续工艺；设计微小芯片后续工艺模具。延长栅结构的离子敏场效应传感器，给引入静电保护电路提供条件。差分延长栅和读出电路集成一个芯片或两个芯片再二次集成。单芯片集成传感器使检测系统体积 |
| 公开日期 | 2008 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2006-07-07 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200610090241.5 |
| 专利代理 | 周国城 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/5365]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏善红,杨海钢,韩泾鸿,等. 一种生化微传感集成芯片、制作及模具制备方法. 2010-12-24. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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