MEMS固态风速风向传感器的设计与制作
文献类型：会议论文
| 作者 | 杜利东 ; 赵湛 ; 庞程 |
| 出版日期 | 2010-09-04 |
| 会议名称 | 第十届全国敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2007 |
| 关键词 | MEMS技术 风速风向参数 硅薄膜式测风传感器 硅悬梁式测风传感器 气象测量 |
| 页码 | 245-248 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/4184]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜利东,赵湛,庞程. MEMS固态风速风向传感器的设计与制作[C]. 见:第十届全国敏感元件与传感器学术会议. 2007. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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