基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究
文献类型：会议论文
| 作者 | 刘泳宏 ; 赵湛 |
| 出版日期 | 2010-09-04 |
| 会议名称 | 第八届中国微米/纳米技术学术年会 |
| 会议日期 | 2006 |
| 关键词 | 生物传感器 介电泳 反应离子刻蚀 NEMS技术 |
| 页码 | 1978-1982 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/4186]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘泳宏,赵湛. 基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究[C]. 见:第八届中国微米/纳米技术学术年会. 2006. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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