基于MEMS技术的集成温湿传感器研制
文献类型：会议论文
| 作者 | 方震 ; 武宇 ; 赵湛 ; 张博军 |
| 出版日期 | 2010-09-04 |
| 会议名称 | 中国仪器仪表学会第六届青年学术会议 |
| 会议日期 | 2004 |
| 关键词 | MEMS 温湿传感器 热电原理 温湿测量 |
| 页码 | 123-125 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/4190]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 方震,武宇,赵湛,等. 基于MEMS技术的集成温湿传感器研制[C]. 见:中国仪器仪表学会第六届青年学术会议. 2004. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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