中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器

文献类型:会议论文

作者武宇 ; 赵湛 ; 方震 ; 张博军
出版日期2010-09-04
会议名称中国仪器仪表学会第六届青年学术会议
会议日期2004
关键词集成传感器 MEMS 聚酰亚胺 湿度 温度 压力 加工工艺
页码101-103
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/4192]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
武宇,赵湛,方震,等. 基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器[C]. 见:中国仪器仪表学会第六届青年学术会议. 2004.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

浏览0
下载0
收藏0
其他版本

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。