探空微型电容压力传感器设计
文献类型：会议论文
| 作者 | 武宇 ; 赵湛 ; 方震 ; 陈超 ; 张博军 |
| 出版日期 | 2010-09-04 |
| 会议名称 | 第八届敏感元件与传感器学术会议 |
| 会议日期 | 2003 |
| 关键词 | 电容压力传感器 MEMS |
| 页码 | 198-201 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/4194]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武宇,赵湛,方震,等. 探空微型电容压力传感器设计[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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