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电子学研究所
传感技术国家重点实验室(北方基地)
会议论文
基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计
文献类型:会议论文
作者
方震
;
赵湛
;
武宇
;
陈超
;
张博军
出版日期
2010-09-04
会议名称
第八届敏感元件与传感器学术会议
会议日期
2003
关键词
有限元分析方法
计算机模拟
MEMS技术
湿度传感器
页码
176-180
源URL
[
http://159.226.65.12/handle/80137/4196
]
专题
电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
方震,赵湛,武宇,等. 基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.
入库方式:
OAI收割
来源:
电子学研究所
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