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基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计

文献类型:会议论文

作者方震 ; 赵湛 ; 武宇 ; 陈超 ; 张博军
出版日期2010-09-04
会议名称第八届敏感元件与传感器学术会议
会议日期2003
关键词有限元分析方法 计算机模拟 MEMS技术 湿度传感器
页码176-180
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/4196]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
方震,赵湛,武宇,等. 基于MEMS技术的温湿传感器模拟和设计[C]. 见:第八届敏感元件与传感器学术会议. 2003.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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