MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备
文献类型：会议论文
| 作者 | 张博军 ; 赵湛 ; 陈绍凤 |
| 出版日期 | 2010-09-04 |
| 会议名称 | 中国微米/纳米第六届学术年会 |
| 会议日期 | 2003 |
| 关键词 | 微机电系统 永磁体阵列 电磁执行器 永磁材料 矫顽磁力 |
| 页码 | 385-387 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/4200]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张博军,赵湛,陈绍凤. MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备[C]. 见:中国微米/纳米第六届学术年会. 2003. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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