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探空集成传感器设计

文献类型:会议论文

作者武宇 ; 方震 ; 赵湛 ; 陈超 ; 张博军
出版日期2010-09-04
会议名称中国微米/纳米第六届学术年会
会议日期2003
关键词集成传感器 微机电系统 导热检测法 气压检测 铂电阻法
页码583-589
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/4202]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
武宇,方震,赵湛,等. 探空集成传感器设计[C]. 见:中国微米/纳米第六届学术年会. 2003.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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