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电子学研究所
传感技术国家重点实验室(北方基地)
会议论文
探空集成传感器设计
文献类型:会议论文
作者
武宇
;
方震
;
赵湛
;
陈超
;
张博军
出版日期
2010-09-04
会议名称
中国微米/纳米第六届学术年会
会议日期
2003
关键词
集成传感器
微机电系统
导热检测法
气压检测
铂电阻法
页码
583-589
源URL
[
http://159.226.65.12/handle/80137/4202
]
专题
电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
武宇,方震,赵湛,等. 探空集成传感器设计[C]. 见:中国微米/纳米第六届学术年会. 2003.
入库方式:
OAI收割
来源:
电子学研究所
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