基于MEMS技术的温湿度集成传感器设计
文献类型：会议论文
| 作者 | 赵湛 ; 史晓希 ; 张博军 |
| 出版日期 | 2010-09-04 |
| 会议名称 | 2002年全国湿度、水分、气体学术交流会 |
| 会议日期 | 2002 |
| 关键词 | MEMS技术 集成传感器 温湿度 微电子机械系统 |
| 页码 | 10-11 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/4204]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵湛,史晓希,张博军. 基于MEMS技术的温湿度集成传感器设计[C]. 见:2002年全国湿度、水分、气体学术交流会. 2002. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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