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基于MEMS技术的微反应器的设计和制作

文献类型:会议论文

作者 赵湛 ; 崔大付 ; 崔铮 ; 于中尧 ; 王利
出版日期2010-09-04
会议名称第五届全国微米/纳米技术学术会议
会议日期2001
关键词MEMS技术 集成 微反应器 生物化学装置 加热子 温度场
页码309-311
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/4206]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
 赵湛,崔大付,崔铮,等. 基于MEMS技术的微反应器的设计和制作[C]. 见:第五届全国微米/纳米技术学术会议. 2001.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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