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真空微电子压力传感器的研制

文献类型:会议论文

作者陈绍凤 ; 夏善红 ; 赵湛 ; 白强
出版日期2010-09-04
会议名称中国电子学会第七届学术年会
会议日期2001
关键词真空微电子 场致发射 台阶阵列 敏感膜 压力传感器
页码942-946
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/4210]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
陈绍凤,夏善红,赵湛,等. 真空微电子压力传感器的研制[C]. 见:中国电子学会第七届学术年会. 2001.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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