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电子学研究所
传感技术国家重点实验室(北方基地)
会议论文
真空微电子压力传感器的研制
文献类型:会议论文
作者
陈绍凤
;
夏善红
;
赵湛
;
白强
出版日期
2010-09-04
会议名称
中国电子学会第七届学术年会
会议日期
2001
关键词
真空微电子
场致发射
台阶阵列
敏感膜
压力传感器
页码
942-946
源URL
[
http://159.226.65.12/handle/80137/4210
]
专题
电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
陈绍凤,夏善红,赵湛,等. 真空微电子压力传感器的研制[C]. 见:中国电子学会第七届学术年会. 2001.
入库方式:
OAI收割
来源:
电子学研究所
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