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An electrostatically-driven and capacitively-sensed differential lateral resonant pressure microsensor

文献类型:会议论文

作者谢波,焦海龙,王军波,陈德勇,陈建
出版日期2013
会议名称2013 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS)
会议日期2013
会议地点中国
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/9988]  
专题电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714
谢波,焦海龙,王军波,陈德勇,陈建. An electrostatically-driven and capacitively-sensed differential lateral resonant pressure microsensor[C]. 见:2013 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS). 中国. 2013.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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