An electrostatically-driven and capacitively-sensed differential lateral resonant pressure microsensor
文献类型:会议论文
作者 | 谢波,焦海龙,王军波,陈德勇,陈建 |
出版日期 | 2013 |
会议名称 | 2013 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) |
会议日期 | 2013 |
会议地点 | 中国 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/9988] ![]() |
专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室(北方基地)_传感技术国家重点实验室(北方基地)_会议论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢波,焦海龙,王军波,陈德勇,陈建. An electrostatically-driven and capacitively-sensed differential lateral resonant pressure microsensor[C]. 见:2013 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS). 中国. 2013. |
入库方式: OAI收割
来源:电子学研究所
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