An electrostatically-driven and capacitively-sensed differential lateral resonant pressure microsensor
文献类型：会议论文
| 作者 | 谢波,焦海龙,王军波,陈德勇，陈建 |
| 出版日期 | 2013 |
| 会议名称 | 2013 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) |
| 会议日期 | 2013 |
| 会议地点 | 中国 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/9988]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢波,焦海龙,王军波,陈德勇，陈建. An electrostatically-driven and capacitively-sensed differential lateral resonant pressure microsensor[C]. 见:2013 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS). 中国. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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