Research about flexible PDMS micro-perforated panel based on MEMS silicon mold
文献类型：会议论文
| 作者 | 平皓月,吴少华,赵湛等 |
| 出版日期 | 2013 |
| 会议名称 | 中国微米纳米技术学会第十五届学术年会 |
| 会议日期 | 2013 |
| 会议地点 | 中国 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/10018]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_会议论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 平皓月,吴少华,赵湛等. Research about flexible PDMS micro-perforated panel based on MEMS silicon mold[C]. 见:中国微米纳米技术学会第十五届学术年会. 中国. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。