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真空微电子平板摄像管（VMEFPC）靶材的改进

文献类型：会议论文

作者吕永积 ; 刘光诒 ; 富军 ; 刘洪志 ; 何映霞 ; 朱敏慧
出版日期2010-09-02
会议名称第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会
会议日期1999
关键词真空微电子摄像管 真空热预处理 非真空热后处理
页码83-86
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/4108]  
专题电子学研究所_微波成像技术国家级重点实验室_微波成像技术国家级重点实验室_会议论文
推荐引用方式
GB/T 7714		 吕永积,刘光诒,富军,等. 真空微电子平板摄像管（VMEFPC）靶材的改进[C]. 见:第七届中国真空微电子学与场致发射学术年会. 1999.

入库方式： OAI收割

来源：电子学研究所

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