基于微加工技术的电荷感应式微型电场传感器的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 陶虎 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006-06-11 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 电子学研究所 |
| 导师 | 夏善红 |
| 关键词 | 电场传感器 微加工技术 计算机模拟 双边驱动交错振动 微弱电流检测 |
| 中文摘要 | 电场测量在气象研究、航空航天、工业生产等领域有着广泛的应用。本文经过对电场传感器机理、结构、制作方法及测量系统的深入研究，设计了多种基于微加工技术的微型电场传感器，并最终制出了双边驱动交错振动式微型电场传感器，其制作工艺简单、分辨率较高。 本文首先对多种电场测试机理进行分析比较，确定了电荷感应式传感原理为本文微型电场传感器的总体传感原理方案。在此基础之上利用PolyMUMPs标准表面微加工技术设计制作出平行振动式和垂直振动式微型电场传感器样品，并经过充分的工艺实验，利用本实验室体硅加工工艺条件，制作出双边驱动交错振动式微型电场传感器。此外，还探讨了圆形梳齿微型传感器、铰链式多维电场传感器以及基于SOIMUMPs体硅加工工艺的水平感应式微型电场传感器等方案。 通过计算机模拟计算以及具体加工工艺比较，作者确定双边驱动交错振动式微型电场传感器为主要研究方案，并接合该传感器确定了微型电场传感器系统的总体结构。针对电场传感器输出为微弱电流信号的特点，设计并制作了测量电路系统。 双边驱动交错振动式微型电场传感器的测试数据表明，新型电场传感器的分辨率可达250V/M，说明新型传感器的设计是合理的，制作方法是可行的，测量系统是有效的。作者还针对双边驱动交错振动式提出了驱动结构以及器件封装上的改进，为今后的工作打下了基础。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 113 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/8227]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陶虎. 基于微加工技术的电荷感应式微型电场传感器的研究[D]. 电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 2006. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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