基于MEMS技术的微型气相色谱系统的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 李玉台 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2007-06-15 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 电子学研究所 |
| 导师 | 崔大付 |
| 关键词 | 微型色谱柱 气相色谱 MEMS |
| 中文摘要 | 基于MEMS技术的微型气相色谱系统采用MEMS微加工技术，使整个系统的体积大大减小，并且具有灵敏度高，分析速度快，应用范围广，便携性好等特点，可以方便地对混合气体进行现场检测。近年来更多的研究机构投入了这项研究。 本文全面总结了基于MEMS技术的微型气相色谱系统的研究现状和最新进展，然后讨论了MEMS气相色谱柱的材料选择和形状设计，设计了九种不同长度和形状的MEMS色谱柱，确定了所有色谱柱的形状和具体参数，长度分为6米、3米和1米，形状分为双螺旋形和S型两种。摸索并确定了色谱柱的MEMS制作工艺，色谱柱采用深反应离子刻蚀技术加工出色谱通道，再与Pyrex 7740 玻璃进行键合密封。 固定液的涂敷方法可分为静态涂敷和动态涂敷，本文采用动态涂敷方法，固定相采用OV-1，溶解于戊烷和二氯甲烷的混合液中, 解决了向微型色谱柱内涂敷固定相的关键技术。 分别针对6米和1米长的微型色谱柱进行了分离实验，待分离的混合气为苯和甲苯，分别给出了最终色谱图，计算出了保留时间，半峰宽，理论塔板数和分离度。其中1米色谱柱对于苯的分离效果非常好，理论塔板数接近8000，达到国际领先水平。分析了影响理论塔板数的诸多因素，包括固定相涂层的均匀性，固定相涂层附着不牢固，转弯处气体分子的流线不等长等等，对进一步工作提出了建议。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 55 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/8411]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李玉台. 基于MEMS技术的微型气相色谱系统的研究[D]. 电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 2007. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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