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TEA CO2激光器均匀场电极研究

文献类型:学位论文

作者郭亚丁
学位类别硕士
答辩日期2008-07-31
授予单位中国科学院电子学研究所
授予地点电子学研究所
导师谭荣清
关键词均匀场电极 TEA CO2激光器 非对称电极 预电离技术 有限单元法
其他题名STUDY ON UNIFORM FIELD ELECTRODES FOR TEA CO2 LASERS
中文摘要在TEA CO2激光器中,均匀场电极系统是获得大体积辉光放电的一个重要前提,本文围绕均匀场电极以及其形成的电场展开了研究工作。首先综述了TEA CO2激光器均匀场电极技术的发展,然后研究了三种常用电极Rogowski、Chang和Ernst电极所形成的电场,最后分析了非对称电极对和带有预电离结构的电极系统中均匀电场的性质。 本文采用新的方法设计Rogowski电极线形,使其更加适用于TEA CO2激光器。新方法设计的Rogowski电极表面电场在2.5倍电极半间距范围内具有低于3%起伏的均匀分布。 比较了三种常用电极Rogowski、Chang和Ernst电极所形成的电场,发现Chang电极与Ernst电极所形成的均匀电场在所研究的截面内分别占74.38%和79.48%。加宽电极可使电场在所研究截面内完全均匀分布。 阴极和阳极不相同的非对称电极系统(非镜像电极)具有一定的实用性,分析了该类电极形成的电场特性,其主要缺点是简单电极(经验电极)边缘的电场起伏过高。选择简单电极的设计参数可使这种起伏低于6%,且表面均匀电场分布范围大于1倍电极半间距。 计算带有火花阵列预电离结构与印刷电路板预电离结构的电极系统所形成的电场截面,得出了均匀电场在预电离的不同时刻所呈现的不同特性。分析了预电离针的位置参数对均匀电场的影响。 本论文的分析成果可用于TEA CO2激光器的均匀场电极的研究和改善中,并为TEA CO2激光器均匀场电极设计提供一定的理论依据。
语种中文
公开日期2011-07-19
页码87
源URL[http://159.226.65.12/handle/80137/8647]  
专题电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
郭亚丁. TEA CO2激光器均匀场电极研究[D]. 电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 2008.

入库方式: OAI收割

来源:电子学研究所

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