基于MEMS的高精度气压传感器的研制
文献类型：学位论文
| 作者 | 庞程 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008-12-16 |
| 授予单位 | 中国科学院电子学研究所 |
| 授予地点 | 电子学研究所 |
| 导师 | 赵湛 |
| 关键词 | MEMS 压力传感器 集成传感器 粘性键合 SU-8 |
| 其他题名 | Research on MEMS-Based Pressure Sensor of High Precision |
| 中文摘要 | 压力参数的测量在工业生产等领域的应用十分广泛，其中气象压力对人们的日常生活生产更是有着密切关系。目前该市场基本为国外厂商所占领，尤其是高精度气压传感器方面。因此研究高精度气压传感器具有重要意义。 本论文设计制作了电容式压力传感器、铂压阻式压力传感器和集成微气象站的压力传感器部分。电容式压力传感器采用了阳极键合以及双层SU-8粘性键合两种不同方式进行密封。铂压阻式压力传感器则采用了单层SU-8粘性键合方式。微型气象站里的温湿压集成传感器延续了铂压阻式压力传感器的方案。 研究结果表明基于硅膜和SU-8粘性键合的铂压阻式压力传感器可以达到较高的精度：恒温下一般为测量误差为0.05%，进行温度补偿后一般为0.1%，统一压力下稳定误差一般为±30Pa，迟滞性误差为0.1%。采用该压力测量方案的温湿压集成传感器同样能达到类似的精度。 本论文实现了高精度高稳定性压力传感器的研制，并在电容式压力传感器的结构上进行了创新。单片压力传感器以及温湿压集成传感器在压力测量方面均达到了高精度的设计要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2011-07-19 |
| 页码 | 60 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/8651]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 庞程. 基于MEMS的高精度气压传感器的研制[D]. 电子学研究所. 中国科学院电子学研究所. 2008. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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