基于金属中间层键合技术的压阻式绝压传感器气密封装
文献类型：学位论文
| 作者 | 陈继超 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2012-06-02 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 赵湛 |
| 关键词 | 共晶键合 等温凝固 气密封装 |
| 学位专业 | 电子与通信工程 |
| 学科主题 | 传感器 |
| 公开日期 | 2012-06-09 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/9761]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈继超. 基于金属中间层键合技术的压阻式绝压传感器气密封装[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2012. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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