谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 曹明威 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2013-06-04 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 陈德勇 |
| 关键词 | MEMS气压传感器 “H”型谐振梁 差分检测 圆片级真空封装 阳极键合 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 传感器 |
| 公开日期 | 2013-06-08 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/9836]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹明威. 谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。