白宝石的多弧离子镀金属化
文献类型：专利
| 作者 | 袁广江 ; 卢玉华 ; 罗积润 ; 阎旭 ; 吴尔生 ; 郭和忠 |
| 发表日期 | 2010-12-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及电真空器件技术，特别是涉及利用多弧离子镀金属化白宝石，进而实现无氧铜—白宝石高可靠气密非匹配外套封的—种新工艺。本发明利用多弧离子镀将纯钛蒸镀到白宝石封接区实现金属化，用于无氧铜—白宝石的高可靠气密外套封，其气密性良好，可以避免白宝石高温金属化的一系列技术困难，也可以避免活性金属粉末法涂层在装架过程中容易遭到破坏，易于漏气，成品率低的缺点。本发明工艺简捷，操作方便，成品率高，便于实现工业化生产。 |
| 公开日期 | 2005-01-26 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2003-07-22 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN03147557.4 |
| 专利代理 | 周国城 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/4941]  |
| 专题 | 电子学研究所_空间行波管研究发展中心_空间行波管研究发展中心_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁广江,卢玉华,罗积润,等. 白宝石的多弧离子镀金属化. 2010-12-24. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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