离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向
文献类型：期刊论文
| 作者 | 江炳尧，任琮欣，郑志宏，柳襄怀，樊会明，姚刘聪，李玉涛，苏小保 |
| 刊名 | 中国有色金属学报
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| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 13期号:6页码:1414-1419 |
| 关键词 | 离子束辅助沉积 铪膜 择优取向 |
| ISSN号 | 1004-0609 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3544]  |
| 专题 | 电子学研究所_高功率微波源与技术院重点实验室_高功率微波源与技术院重点实验室_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 江炳尧，任琮欣，郑志宏，柳襄怀，樊会明，姚刘聪，李玉涛，苏小保. 离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向[J]. 中国有色金属学报,2003,13(6):1414-1419. |
| APA | 江炳尧，任琮欣，郑志宏，柳襄怀，樊会明，姚刘聪，李玉涛，苏小保.(2003).离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向.中国有色金属学报,13(6),1414-1419. |
| MLA | 江炳尧，任琮欣，郑志宏，柳襄怀，樊会明，姚刘聪，李玉涛，苏小保."离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向".中国有色金属学报 13.6(2003):1414-1419. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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