新型微波ECRPECVD装置的研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 阴生毅，陈光华，粟亦农，张永清 |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 24期号:1页码:33-36 |
| 关键词 | 电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 波导 磁场 永磁体 Si:H薄膜 |
| ISSN号 | 1672-7126 |
| 公开日期 | 2010-09-02 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/3562]  |
| 专题 | 电子学研究所_高功率微波源与技术院重点实验室_高功率微波源与技术院重点实验室_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 阴生毅，陈光华，粟亦农，张永清. 新型微波ECRPECVD装置的研制[J]. 真空科学与技术学报,2004,24(1):33-36. |
| APA | 阴生毅，陈光华，粟亦农，张永清.(2004).新型微波ECRPECVD装置的研制.真空科学与技术学报,24(1),33-36. |
| MLA | 阴生毅，陈光华，粟亦农，张永清."新型微波ECRPECVD装置的研制".真空科学与技术学报 24.1(2004):33-36. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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