脉冲气体激光器的预电离装置
文献类型:专利
作者 | 柯常军 ; 吴 谨 ; 谭荣清 ; 万重怡 ; 刘世明 ; 张阔海 |
发表日期 | 2010-12-24 |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
中文摘要 | 本发明脉冲气体激光器的预电离装置,涉及气体激光器技术,适用于高重复频率脉冲气体激光器的预电离装置。本发明中表面预电离阵列位于主电极阴极一侧或两侧。该阴极同时也是预电离阵列电极对中的一个公共电极,预电离阵列电极对的另一个电极由多个相同的窄金属片组成。该金属片均匀敷在绝缘介质板上,绝缘介质板另一侧与主电极阴极侧面紧密相连。每个金属片与公共阴极形成电极对,当高压脉冲加在该电极对时,通过绝缘介质板表面形成多通道滑闪放电,产生高效的紫外光,为主放电空间提供丰富的初始电子。绝缘介质板还有均匀气流和减少气流损失的作用。 |
公开日期 | 2006 ; 2010-12-24 |
申请日期 | 2004 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN200410009811.4 |
专利代理 | 周国城 |
源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/5033] ![]() |
专题 | 电子学研究所_高功率气体激光技术部_高功率气体激光技术部_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 柯常军,吴 谨,谭荣清,等. 脉冲气体激光器的预电离装置. 2010-12-24. |
入库方式: OAI收割
来源:电子学研究所
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