微机械硅谐振梁加速度计
文献类型：专利
| 作者 | 陈德勇 ; 陈 健 ; 王军波 |
| 发表日期 | 2010-12-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 本发明是一种微机械硅谐振梁加速度计，是基于微电子机械技术(MEMS)加工而成，由Pyrex7740#玻璃基片、硅质量块、双谐振梁、四根支撑梁、锚点及电极引线组成，硅结构上下左右完全对称。质量块在加速度作用下受到的惯性力通过力-应力转换结构传递到谐振梁上，改变梁的轴向机械应力，双梁结构设置可保证其感受相反方向的应力，使一个梁的谐振频率增加而另一个梁的谐振频率下降，通过检测双梁谐振频率差，实现加速度测量。本发明采用独特的力-应力转换结构及双梁对称结构，制作简单，并有效提高加速度计检测灵敏度及抗干扰能力。 |
| 公开日期 | 2007-06-13 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2005 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200510125708.0 |
| 专利代理 | 周国城 |
| 源URL | [http://159.226.65.12/handle/80137/5057]  |
| 专题 | 电子学研究所_高功率气体激光技术部_高功率气体激光技术部_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈德勇,陈 健,王军波 . 微机械硅谐振梁加速度计. 2010-12-24. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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