一种等离子体耦合模式激光器
文献类型：专利
| 作者 | 郑婉华 ; 付非亚 ; 王宇飞 ; 晏新宇 ; 周文君 ; 陈微 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 半导体材料 |
| 公开日期 | 2012-09-12 |
| 申请日期 | 2012-05-02 |
| 专利申请号 | CN201210135204.7 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25269]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑婉华,付非亚,王宇飞,等. 一种等离子体耦合模式激光器. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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