基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邵亚琪 ; 郇勇; 代玉静; 缪泓; 张泰华
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| 刊名 | 实验力学
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| 出版日期 | 2014 |
| 卷号 | 29期号:4页码:441-446 |
| 通讯作者邮箱 | huany@lnm.imech.ac.cn |
| 关键词 | 微尺度 面内载荷 数字散斑相关方法 微电子机械系统 微悬臂梁 |
| 其他题名 | In-plane Bending Performance Test of Micro-Cantilever Based on Whole-Field Displacement Measuring Technique |
| 通讯作者 | 郇勇 |
| 中文摘要 | 基于自制的微力试验机和全场位移光学测量仪,建立了微尺度力学性能原位测试系统。其中微力试验机基于电磁驱动兼载荷计量原理设计,载荷量程和噪音分别为± 1N 和50μN。全场位移光学测量仪基于白光数字散斑相关方法研制。采用该系统对MEMS 单晶硅(001)微悬臂梁进行了面内弯曲力学性能原位测试,获得了微悬臂梁末梢施力点的力- 位移关系曲线,以及全场变形情况。结果显示,微悬臂梁表现出很好的弹性弯曲行为,最后在根部发生脆性断裂。根据弹性弯曲理论计算出单晶硅弹性模量为123. 8GPa(± 3. 2%) 。该技术为研究MEMS 微构件的力学性能提供了一种有效的手段。 |
| 学科主题 | 实验固体力学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金（11372323，11025212和11272318）和中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目资助 |
| 原文出处 | http://sylx.ustc.edu.cn/sylx/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=2014406&flag=1 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:5225637 |
| 公开日期 | 2014-10-15 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/49120]  |
| 专题 | 力学研究所_非线性力学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邵亚琪,郇勇,代玉静,等. 基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试[J]. 实验力学,2014,29(4):441-446. |
| APA | 邵亚琪,郇勇,代玉静,缪泓,&张泰华.(2014).基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试.实验力学,29(4),441-446. |
| MLA | 邵亚琪,et al."基于全场位移测量技术的微悬臂梁面内弯曲性能测试".实验力学 29.4(2014):441-446. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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