激光光束匀化装置
文献类型：专利
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| 作者 | 曾华林; 何军; 李丽艳; 范松涛; 佟有万; 雷平顺; 周燕 |
| 专利国别 | 中国 |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 专利类型 | 发明 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 光电子学 ; 光电子学 |
| 公开日期 | 2012-12-12 ; 2012-12-12 |
| 申请日期 | 2012-08-27 ; 2012-08-27 |
| 专利申请号 | CN201210309070.6 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25276]  |
| 专题 | 半导体研究所_光电系统实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾华林,何军,李丽艳,等. 激光光束匀化装置, 激光光束匀化装置. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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