用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法
文献类型：专利
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| 作者 | 纪攀峰; 马平; 王军喜; 胡强; 冉军学; 曾一平; 李晋闽 |
| 专利国别 | 中国 |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 专利类型 | 发明 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 半导体器件 ; 半导体器件 |
| 公开日期 | 2014-01-22 ; 2014-01-22 |
| 申请日期 | 2013-10-14 ; 2013-10-14 |
| 专利申请号 | CN201310477602.1 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25514]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 纪攀峰,马平,王军喜,等. 用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法, 用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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