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基于表面等离子体效应增强吸收的InGaAs光探测器

文献类型:专利

作者宋国峰 ; 许斌宗 ; 韦欣 ; 刘杰涛 ; 相春平 ; 付东 ; 徐云
专利国别中国
专利类型发明
权利人中国科学院半导体研究所
学科主题半导体材料
公开日期2014-07-23
申请日期2014-05-04
专利申请号CN201410184396.X
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25673]  
专题半导体研究所_纳米光电子实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
宋国峰,许斌宗,韦欣,等. 基于表面等离子体效应增强吸收的InGaAs光探测器.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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