椭偏光学显微成像系统聚焦评价函数的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈涉 ; 孟永宏; 靳刚
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 25期号:7页码:923-929 |
| 关键词 | 光学测量 显微 自动聚焦 椭偏光成像系统 聚焦评价函数 噪音 |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 其他题名 | Study on the Autofocus Evaluation Function in Ellipsometric Imaging System |
| 中文摘要 | 自动聚焦技术在椭偏光学显微成像系统中是一项关键的技术。利用几种常用聚焦评价函数作为研究手段研究了这一过程。实验中采用硅基底表面人血纤维蛋白膜层和多元蛋白质芯片样品作为研究对象，研究了几种函数在自动聚焦过程中函数值的变化，以及噪音、样品区域选择对聚焦效果的影响。实验验证拉普拉斯评价函数和Sobel评价函数可以满足系统的要求；采用多幅图像平均的方法可以有效降低噪音，当平均次数达到9次以上，系统噪音的影响就可以被降至有效评价的程度；沿同一锐边，选择不同的调焦区域，对聚焦过程基本没有影响；利用评价函数在实验中确定了倾斜平面成像的最佳聚焦平面，并与理论像平面吻合。实验证明利用聚焦评价函数可以成功实现自动聚焦技术在椭偏光学显微成像系统中的应用。 |
| 学科主题 | 力学 |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2207872 |
| 公开日期 | 2007-06-15 ; 2007-12-05 ; 2009-06-23 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/16230]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈涉,孟永宏,靳刚. 椭偏光学显微成像系统聚焦评价函数的研究[J]. 光学学报,2005,25(7):923-929. |
| APA | 陈涉,孟永宏,&靳刚.(2005).椭偏光学显微成像系统聚焦评价函数的研究.光学学报,25(7),923-929. |
| MLA | 陈涉,et al."椭偏光学显微成像系统聚焦评价函数的研究".光学学报 25.7(2005):923-929. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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