硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈启生 ; 秦明; 邓谷雨
|
| 刊名 | 力学与实践
 |
| 出版日期 | 2009-08-08 |
| 卷号 | 31期号:4页码:24-27 |
| 关键词 | 提拉法 单晶硅 流动振荡 提拉速率 |
| 其他题名 | EFFECT OF THE CUSP MAGNETIC FIELD ON FLOW FIELD AND PULLING RATE DURING SI SINGLE CRYSTAL GROWTH PROCESSES |
| 通讯作者 | 陈启生 |
| 中文摘要 | 通过使用基于非正交网格有限体积法的FLUTRAPP(fluid flow and transport phenomena pro-gram)程序模拟了工业8 in单晶硅提拉法生长过程.数值模拟结果表明,流场及提拉速率在单晶硅生长过程中具有振荡特性,提拉速率的振荡周期大约为2 min.尖形磁场的引入能够抑制坩埚中熔体流动的振荡,减小提拉速率的振幅,从而有利于提高所生长单晶的质量. |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3669656 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-05-27 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/33371]  |
| 专题 | 力学研究所_国家微重力实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈启生,秦明,邓谷雨. 硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响[J]. 力学与实践,2009,31(4):24-27. |
| APA | 陈启生,秦明,&邓谷雨.(2009).硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响.力学与实践,31(4),24-27. |
| MLA | 陈启生,et al."硅生长过程中尖形磁场对流场及提拉速率的影响".力学与实践 31.4(2009):24-27. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。