基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能
文献类型:期刊论文
作者 | 张平余 ; 刘洪 ; 张军 ; 王秀娥 ; 张绪寿 |
刊名 | 摩擦学学报
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出版日期 | 1993 |
卷号 | 13期号:2页码:137-144 |
关键词 | 离子注氮 基体预处理 TiN镀层 结合强度 耐磨性 nitrogen implantation substrate pretreatment TiN coatings adhesive strength anti-wear properties |
ISSN号 | 1004-0595 |
通讯作者 | 张平余 |
中文摘要 | 作者考察了基体离子注氮预处理对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN镀层结合强度及耐磨性的影响。结果表明, 基体经离子注氮预处理的PECVD TiN镀层之结合强度比基体未经离子注氮预处理的高, 油润滑条件下的耐磨寿命也比后者的长, 干摩擦条件下的耐磨性更比后者的好。X-射线衍射及电子探针分析发现, 基体经离子注氮预处理后镀层的TiN(200)峰宽化, 镀层与基体的界面变宽。 |
学科主题 | 材料科学与物理化学 |
资助信息 | 西安交通大学金属材料强度开放研究实验室资助课题 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2014-11-19 |
源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/6696] ![]() |
专题 | 兰州化学物理研究所_非现建制 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张平余,刘洪,张军,等. 基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能[J]. 摩擦学学报,1993,13(2):137-144. |
APA | 张平余,刘洪,张军,王秀娥,&张绪寿.(1993).基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能.摩擦学学报,13(2),137-144. |
MLA | 张平余,et al."基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能".摩擦学学报 13.2(1993):137-144. |
入库方式: OAI收割
来源:兰州化学物理研究所
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