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基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能

文献类型:期刊论文

作者张平余 ; 刘洪 ; 张军 ; 王秀娥 ; 张绪寿
刊名摩擦学学报
出版日期1993
卷号13期号:2页码:137-144
关键词离子注氮 基体预处理 TiN镀层 结合强度 耐磨性 nitrogen implantation substrate pretreatment TiN coatings adhesive strength anti-wear properties
ISSN号1004-0595
通讯作者张平余
中文摘要作者考察了基体离子注氮预处理对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN镀层结合强度及耐磨性的影响。结果表明, 基体经离子注氮预处理的PECVD TiN镀层之结合强度比基体未经离子注氮预处理的高, 油润滑条件下的耐磨寿命也比后者的长, 干摩擦条件下的耐磨性更比后者的好。X-射线衍射及电子探针分析发现, 基体经离子注氮预处理后镀层的TiN(200)峰宽化, 镀层与基体的界面变宽。
学科主题材料科学与物理化学
资助信息西安交通大学金属材料强度开放研究实验室资助课题
语种中文
公开日期2014-11-19
源URL[http://210.77.64.217/handle/362003/6696]  
专题兰州化学物理研究所_非现建制
推荐引用方式
GB/T 7714
张平余,刘洪,张军,等. 基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能[J]. 摩擦学学报,1993,13(2):137-144.
APA 张平余,刘洪,张军,王秀娥,&张绪寿.(1993).基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能.摩擦学学报,13(2),137-144.
MLA 张平余,et al."基体预注氮改善PECVD TiN镀层的耐磨性能".摩擦学学报 13.2(1993):137-144.

入库方式: OAI收割

来源:兰州化学物理研究所

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