光纤干涉仪多参数的综合测量系统
文献类型：专利
| 作者 | 徐团伟 ; 方高升 ; 李芳 ; 刘育梁 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 学科主题 | 光电子学 |
| 公开日期 | 2014-04-30 |
| 申请日期 | 2014-01-23 |
| 专利申请号 | CN201410032166.1 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25863]  |
| 专题 | 半导体研究所_光电系统实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐团伟,方高升,李芳,等. 光纤干涉仪多参数的综合测量系统. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。