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制备Ni基WC硬质合金涂层及抑制其裂纹与气孔的方法

文献类型:专利

作者林学春 ; 刘发兰 ; 赵树森 ; 高文焱 ; 王奕博 ; 周春阳
专利国别中国
专利类型发明
权利人中国科学院半导体研究所
学科主题半导体器件
公开日期2013-11-27
申请日期2013-07-31
专利申请号CN201310328587.4
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/25816]  
专题半导体研究所_全固态光源实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
林学春,刘发兰,赵树森,等. 制备Ni基WC硬质合金涂层及抑制其裂纹与气孔的方法.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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