纳米投影光刻中的光栅检焦技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 陈旺富 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2011-05 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 胡松 |
| 关键词 | 投影光刻 检焦技术 偏振调制 光弹调制 |
| 学位专业 | 光学工程 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-12-11 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/572]  |
| 专题 | 光电技术研究所_光电技术研究所博硕士论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈旺富. 纳米投影光刻中的光栅检焦技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2011. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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