高精度螺距自动扫描测量仪设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡松 ; 王肇志 ; 唐小萍 |
| 刊名 | 计量技术
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 期号 | 2页码:7--10 |
| ISSN号 | 1000-0771 |
| 通讯作者 | 胡松 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-12-09 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/424]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡松,王肇志,唐小萍. 高精度螺距自动扫描测量仪设计[J]. 计量技术,2002(2):7--10. |
| APA | 胡松,王肇志,&唐小萍.(2002).高精度螺距自动扫描测量仪设计.计量技术(2),7--10. |
| MLA | 胡松,et al."高精度螺距自动扫描测量仪设计".计量技术 .2(2002):7--10. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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